- 고순도 순수
1차 순수를 UV살균기, 이온교환수지, MF막을 이용하여 초순수로 만듭니다.
또 초순수를 Use line에서부터 순환시키고 있기 때문에 체류에 의한 수질저하가 없습니다.
- UV살균기에서는, UV(자외선)을 이용하여 순수 내의 생균 등을 살균합니다.
자외선에 의한 살균처리는, 균에 대한 선택성이 적어 매우 우수합니다.
- Deminer에서는, 전단에서 보내 온 처리수를 이온교환수지를 충진한 Column에 통과시킴으
로써, 수중의 잔류 이온을 완전하게 제거하여, 비저항을 상승시킵니다.
- MF막에서는, 미립자 및 미생물을 제거합니다.
특히, 본 장치에서 사용하고 있는 MF막은, 초순수 제조장치 말단용 MF Module로 미립자
제거에 뛰어난 능력을 가지고 있어 수명이 깁니다.
- Compact, 현지 공사가 간단
조작반, 기기, 배관, 밸브 등이 One skid로 Compact하게 배치되어 있기 때문에, 현지 공사는 간단한
설치와 배관, 배선의 연결만으로 완료됩니다.
- 충실한 Option품
DI Tank를 탑재한 전용 Sub tank unit ST series (Option)을 조합할 수 있습니다. (별도설치)
Use point에서의 초순수 사용량이 감소하여, 루프 배관이 수온 상승하는 경우의 대책으로서, 냉각용
자동폐수 밸브(Option) 또는, 안정된 수온의 초순수를 Use point로 송수하기 위한 냉각용 열교환기
(Option)를 Unit로 만들 수 있습니다.
MF막을 수중의 유기물 제거성능이 보다 높은 UF막(Option)으로 변경할 수 있습니다.
