초순수란?(UPW : Ultra Pure Water)
미립자·유기물·생균·실리카 등을 가능한 최대로 제거하여 비저항값이 이론순수 level(18.25㏁.cm)에 가장 가까운 순수상태로, 주변의 물질을 용해 분해하려는 성질 보유
순수(DI)와 초순수(DPW)
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DI(DEIONAIZED WATER) |
UPW(ULTRA PURE WATER) |
| 관리항목 |
수중의 이온(전해질) |
전해질, 유기물, 생균, 미립자, 용존산소등 |
| 수질지표 |
Conductivity |
Conduclivity, TOC, Bacterla, Particle, DO등 |
| 용도 |
도금, 석유화학, 화약약품산업, 실험실 등 |
반도체 및 Display 관련분야 Nano 연구분야 등 |
UPW 생산 PROCESS
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